潔凈室過濾網的泄漏測試（高效過濾器檢漏）

一、說明
過濾網的泄漏測試應當是無塵室測試中，最復雜、最耗時間的測量項目。泄漏測試的目的，是要確認：
1. 濾網的材料無破損，
2. 安裝恰當。
濾網出廠前當然要經過泄漏測試，但是在搬運與安裝過程難保完全無損，而且濾網的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認濾材無任何泄漏。另外，若是安裝不恰當，微粒會從邊框漏進無塵室風口。就算是 FFU 系統(tǒng)，天花板上是負壓，若是邊框機有微粒日后仍舊會產生問題。因此，邊框掃描一樣重要。 濾網泄漏測試基本上是利用濾網上游的顆粒，然后在濾網下表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式，適用在不同的場合。
測試方式有：
1. 氣膠光度計測試法， 2. 微粒計數器測試法， 3. 全效率測試法， 4. 外氣測試法。后兩種現在使用非常少。

二、方法
氣溶膠光度計測試法
氣膠光度計測試法是最早期的測試方式，但是因為效果非常好，到今天仍舊沿用。氣膠光度計（ Aerosol Photometer ）是微粒計數器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強度，不是微粒數目。 DOP 是一種油性化學物質，現改用PAO,加壓或加熱霧化之后，可以產生次微米等級的微粒，可用來模擬無塵室的微粒，因此被當成驗證微粒。 微粒計數器測試法
半導體業(yè)方面，早期也是使用 DOP/PAO 與氣膠光度計，但是隨著制造精密度增加，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無塵室使用，因此出現使用干式灰塵當成挑戰(zhàn)微粒，在上游施放，然后用微粒計數器在下游掃描，尋找泄漏，基本概念完全相同。經過科學家一步步研究結果，發(fā)現 PSL 因為微粒的粒徑與濃度可以控制，因此是目前最廣為使用的標準微粒。使用時只要把 PSL 溶液霧化，導入濾網上游即可。